XD LASER激光干涉仪实现高端精密自动化设备的高效检测

发布时间:2021-12-29
基于高质量检测标准和针对以上各参数项的检测需求,使用XD LASER激光干涉仪,一次安装即可同时实现对:线性定位误差(定位精度、重复定位精度、反向间隙)、直线度误差(XX方向和YY方向)、垂直度误差、以及角度误差(俯仰角、偏摆角、滚动角)的检测(如图2示意),测量效率较传统激光干涉仪提升五倍以上!

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高端制造业的精密自动化设备需求

伴随着高端制造产业如:液晶面板、太阳能光伏、锂电新能源、激光、贴装、半导体、医疗制造、精密喷绘、精密检测、点胶等行业的兴起或进阶,带来了庞大的精密自动化设备需求;为匹配高端制造业相应技术要求,自动化设备的制造及标定技术标准也在不断提升;这其中,无论是在生产制造过程中的测量检测、还是在设备服役期间的校准标定,都是重中之重的环节,为自动化设备的稳定运行提供最坚实的保障。

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图1:大理石平台双X、Y轴自动化设备(左上)&检测中需关注的误差种类示意(右下)

高端自动化设备特征及检测需求

高端精密自动化设备,通常情况,使用大理石平台框架搭载直线电机驱动组合的形式较多(如图1示意)。这类平台通常具有两个X轴、两个Y轴,且精度方面要求关注的数据比较多。

除了安装过程中需要严格控制直线度、垂直度、平行度以外,安装完毕后,直线电机运动的线性误差(定位精度、重复性)、小角度(偏摆角、俯仰角、滚动角)等数据也需要得到充分关注。而使用传统检测手段实施这些误差参数的检测,往往耗时耗力、且精准度和客观性难以得到最佳保障。

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图2:XD LASER激光干涉仪测量作业中(左)&数据报告

(右,由上至下依次为:线性误差曲线图、直线度误差曲线图、角度误差曲线图、软件中的实时数值显示)

API解决方案

基于高质量检测标准和针对以上各参数项的检测需求,使用XD LASER激光干涉仪,一次安装即可同时实现对:线性定位误差(定位精度、重复定位精度、反向间隙)、直线度误差(XX方向和YY方向)、垂直度误差、以及角度误差(俯仰角、偏摆角、滚动角)的检测(如图2示意),测量效率较传统激光干涉仪提升五倍以上!

XD LASER激光干涉仪特征特点

01实现线性定位误差测量:包括定位精度、重复定位精度、反向间隙;

02实现直线度测量:包括垂直于运动轴方向的两个方向(竖直、水平)的直线度;

03实现角度测量:运动中的俯仰角、偏摆角、滚动角;

04一次安装可同时测量上述参数,无需更换光学组件,效率较传统干涉仪提高五倍以上;

05直线度和角度测量中不怕断光,可以替代准直仪使用,对安装进行指导调整;

06安装灵活方便,可以选择多种安装方式,即使在最苛刻的拥挤环境也可便捷使用;

07精密型可选,充分满足工厂及实验室使用需求。

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图3:XD LASER激光干涉仪与应用

全面机床误差检测&补偿解决方案

除XD LASER激光干涉仪外,API还基于自主科研开发出了SWIVELCHECK角摆检查仪、BALLBAR球杆仪、SPINDLECHECK主轴分析仪、VEC大型机床空间误差补偿技术等机床误差检测与补偿设备与技术,为您提供机床误差全方位检测与校准解决方案。

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